广州市工信局公开征求《广州市关于“十五五”时期全链条推动集成电路产业高质量发展的若干政策》意见，其中提到，鼓励集成电路制造企业加大技术改造投入，对符合有关条件的投资项目，按照其新设备购置额不超过20%的比例给予事后奖励；对新购置设备的支持范围从生产设备扩大到企业自用的用能设备、配电设备及配套软件。单个项目奖励额度不超过3000万元。对上述项目技术改造备案范围内的厂房建安工程实际投资额给予不超过2%的事后奖励，单个项目奖励额度不超过500万元。