据创东方投资消息，近期，专注于半导体先进制造检测设备的“卓谱微”完成数千万元人民币融资，本轮融资由创东方独家投资。融资资金将用于核心产品迭代升级、新产品线研发、生产规模扩大及高端人才团队扩充。