上海诺睿科半导体设备有限公司近日发布全新产品系列：光学关键尺寸量测（Optical Critical Dimension: OCD）设备NKShape，并成功交付国内客户。NKShape系列产品专为半导体先进工艺开发，适用于Planar Gate，FinFET, DRAM, 3D-NAND等复杂结构的关键尺寸量测。